2025年中國半導體濕法設備行業(yè)市場規(guī)模、產(chǎn)業(yè)鏈結構、競爭格局、代表企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀分析及未來發(fā)展趨勢研判：國產(chǎn)替代加速、市場份額逐步擴大[圖]

內(nèi)容概要：半導體濕法設備是芯片制造中用于清洗、蝕刻、去膠等一系列工藝的核心裝備，它是通過使用化學溶液與半導體材料進行反應來實現(xiàn)特定的工藝目的。全球主流芯片的制造分為4個階段：原料制作、單晶生長和晶圓的制造、集成電路晶圓的生產(chǎn)、集成電路的封裝。在目前主流的芯片制程中，濕法清洗是主流的清洗技術路線，占芯片制造清洗步驟數(shù)量的90%以上。近年來，隨著全球半導體行業(yè)的快速發(fā)展，半導體濕法設備市場也呈現(xiàn)出強勁的增長勢頭。據(jù)統(tǒng)計，2024年，全球半導體清洗設備市場規(guī)模約為794.07億元，較2023年增加82.35億元；中國半導體清洗設備市場規(guī)模為158.82億元，較2023年增加30.71億元。預計2025年全球半導體清洗設備市場規(guī)模有望達到880億元，中國半導體清洗設備市場規(guī)模有望達到195億元。

上市企業(yè)：至純科技[603690]、北方華創(chuàng)[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037]

相關企業(yè)：迪恩士SCREEN、東京電子TEL、泛林LAM與細美事SEMES、Lam Research、中芯國際、長江存儲、華虹集團、富樂德、江化微、上海新陽、芯矽科技、重慶華潤、上海華虹、上海積塔、上海格科、廣東粵芯、、青島芯恩、廈門士蘭、南通捷捷、湖南楚微等

關鍵詞：半導體濕法設備市場規(guī)模、半導體濕法設備市場競爭格局、半導體濕法設備市場代表企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀、半導體濕法設備行業(yè)發(fā)展趨勢

一、半導體濕法設備行業(yè)定義及分類

半導體濕法設備是芯片制造中用于清洗、蝕刻、去膠等一系列工藝的核心裝備，它是通過使用化學溶液與半導體材料進行反應來實現(xiàn)特定的工藝目的。半導體濕法設備主要包括濕法清洗刷洗設備、濕法刻蝕設備及去膠設備三類。其根據(jù)使用場景的不同，濕法清洗技術路線又被細分成單片清洗設備、槽式清洗設備、批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設備和洗刷器等類別，其中單片和槽式清洗設備是目前主流的清洗設備。

二、半導體濕法設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

目前，全球主流芯片的制造，分為4個階段：原料制作、單晶生長和晶圓的制造、集成電路晶圓的生產(chǎn)、集成電路的封裝。在目前主流的芯片制程中，濕法清洗是主流的清洗技術路線，占芯片制造清洗步驟數(shù)量的90%以上。據(jù)統(tǒng)計，2024年全球半導體清洗設備市場規(guī)模約為794.07億元，較2023年增加82.35億元；預計2025年有望達到880億元。

近年來，隨著國內(nèi)半導體行業(yè)的快速發(fā)展，我國半導體清洗設備市場也呈現(xiàn)出強勁的增長勢頭。2024年中國半導體清洗設備市場規(guī)模為158.82億元，較2023年增加30.71億元；預計2025年中國半導體清洗設備市場規(guī)模有望達到195億元。

相關報告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導體濕法設備行業(yè)市場全景調(diào)研及發(fā)展前景研判報告》

三、半導體濕法設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

1、半導體濕法設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈結構

半導體濕法設備是用于半導體制造過程中的一系列設備。半導體濕法設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括高純度化學品（硫酸、氫氟酸、氨水）、超純水系統(tǒng)（超純水系統(tǒng)）等核心材料，以及精密機械部件（耐腐蝕泵、閥門）、傳感器與控制系統(tǒng)（溫度/壓力傳感器、PLC控制器）、納米級過濾器等關鍵零部件，上游的材料與零部件技術壁壘較高，主要由歐美日廠商占據(jù)主要份額；行業(yè)中游為半導體濕法設備生產(chǎn)制造；行業(yè)下游應用于半導體的制造中，終端應用于消費電子、汽車電子、AI/數(shù)據(jù)中心等領域。

2、半導體濕法設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游-濕電子化學品

濕電子化學品又稱超凈高純試劑，是半導體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的高純度化學品。根據(jù)用途，濕電子化學品主要可分為通用化學品和功能性化學品。主要包含酸類、堿類、氧化劑、有機溶劑類和蝕刻液、電鍍液及其添加劑、清洗劑、顯影液和剝離液等產(chǎn)品，是超大規(guī)模集成電路、新型顯示、太陽能電池等制造工藝過程中不可缺少的關鍵基礎化工材料，主要應用于清洗、刻蝕、電鍍和表面處理等環(huán)節(jié)。

在5G通訊、智能終端、汽車電子等新興領域的帶動下，全球集成電路、顯示面板等產(chǎn)業(yè)持續(xù)保持穩(wěn)健發(fā)展，相關配套行業(yè)也迎來持續(xù)增長。2023年全球濕電子化學品整體市場規(guī)模約684.02億元，其中，集成電路領域市場規(guī)模462.00億元，顯示面板領域市場規(guī)模134.60億元，太陽能光伏領域市場規(guī)模87.42億元；預計到2025年，全球濕電子化學品整體市場規(guī)模將達到827.85億元，其中，集成電路領域市場規(guī)模約544.60億元，顯示面板領域市場規(guī)模約159.00億元，太陽能光伏領域市場規(guī)模約124.25億元。隨著半導體行業(yè)的發(fā)展，預計濕電子化學品在三大應用領域濕電子化學品市場規(guī)模均保持持續(xù)增長。

3、半導體濕法設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈下游-芯片

在芯片制造過程中，濕法設備扮演著至關重要的角色。濕法設備在半導體制造中不可或缺，從清洗到刻蝕，再到平坦化，它們確保了芯片的高性能和高可靠性。隨著技術的不斷進步，濕法設備的應用范圍和效率將進一步提升，推動芯產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。2023年我國芯片產(chǎn)量3514億塊，2024年我國芯片產(chǎn)量4514.2億塊。

四、半導體濕法設備行業(yè)競爭格局

1、主要企業(yè)

目前，全球半導體濕法設備高度集中，市場主要被迪恩士SCREEN、東京電子TEL、泛林LAM與細美事SEMES等日本、美國、韓國等國外企業(yè)主導，這四家企業(yè)合計占據(jù)全球超90%的市場份額。國內(nèi)能夠提供半導體濕法設備的企業(yè)主要包括至純科技、北方華創(chuàng)、盛美上海及芯源微。國產(chǎn)設備市場占有率低，但發(fā)展迅速。國內(nèi)企業(yè)如盛美上海、至純科技、北方華創(chuàng)的成果比肩國際領先企業(yè)。盛美半導體、北方華創(chuàng)、至純科技、芯源微等企業(yè)已實現(xiàn)部分濕法設備量產(chǎn)，并進入中芯國際、長江存儲、華虹集團等國內(nèi)頭部晶圓廠供應鏈。

2、代表企業(yè)

1）盛美半導體設備（上海）股份有限公司

盛美上海專注于對先進集成電路制造、先進晶圓級封裝制造及大硅片制造領域半導體設備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過向半導體芯片制造商提供高性能、低消耗的工藝解決方案，致力于提升客戶的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。盛美（上海）半導體濕法設備主要產(chǎn)品具體如下：

得益于中國半導體設備市場需求增長、盛美上海在清洗設備領域競爭優(yōu)勢的提升以及不斷開拓新的半導體設備產(chǎn)品，銷售收入持續(xù)增長，保持持續(xù)盈利。據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示，2024年盛美上海實現(xiàn)營業(yè)收入56.18億元，同比增長44.48%；歸屬于上市公司股東的凈利潤11.53億元，同比增長26.65%。受益于半導體行業(yè)景氣以及公司產(chǎn)品結構多元化的發(fā)展策略，2024年盛美上海半導體清洗設備收入為40.57億元，同比增長約55.18%；先進封裝濕法設備收入為2.46億元，同比增長約53.55%。

2）上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司

經(jīng)過多年的努力，至純科技已成為國內(nèi)集成電路領域高純工藝系統(tǒng)的領導者、濕法設備的領先者，并成功躋身為國內(nèi)28納米及以上主流集成電路制造企業(yè)的大宗氣體主要本土供應商之一。在技術研發(fā)方面，至純科技濕法設備產(chǎn)品成功開發(fā)了四大平臺，覆蓋濕法幾乎全部工藝，在仍然被國際廠商壟斷的部分機臺環(huán)節(jié)，至純科技保持了國內(nèi)領先的驗證及交付進度。至純科技旗下至微科技是國內(nèi)濕法設備主要供應商之一，能夠覆蓋晶圓制造中包括邏輯電路、高密度存儲、化合物半導體特色工藝等多個細分領域的市場需求。據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示，2024年前三季度，至純科技實現(xiàn)營業(yè)總收入26.39億元，同比上升20.04%；歸母凈利潤1.93億元，同比下降1.64%。

六、半導體濕法設備行業(yè)發(fā)展趨勢

未來，隨著國內(nèi)晶圓產(chǎn)能擴張（如中芯京城、長存二期）和技術迭代，中國半導體濕法設備企業(yè)有望在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中扮演更重要的角色。未來，隨著國內(nèi)企業(yè)技術的不斷創(chuàng)新，國產(chǎn)替代加速，設備將更高潔凈度與集成化，智能化升級，國際市場份額逐步擴大。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（yhcgw.cn）發(fā)布的《中國半導體濕法設備行業(yè)市場全景調(diào)研及發(fā)展前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產(chǎn)業(yè)咨詢機構，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。