刻蝕機(jī)

刻蝕機(jī)-產(chǎn)業(yè)百科

刻蝕機(jī)是一種用于制造微細(xì)結(jié)構(gòu)的設(shè)備，常見(jiàn)于半導(dǎo)體、光學(xué)和電子工業(yè)中?？涛g機(jī)通過(guò)將化學(xué)反應(yīng)物和物理能量相結(jié)合，去除材料表面的一部分，從而創(chuàng)建所需的微細(xì)結(jié)構(gòu)?？涛g機(jī)主要分為濕法刻蝕機(jī)和干法刻蝕機(jī)，其中，濕法刻蝕機(jī)分為化學(xué)刻蝕機(jī)和電解刻蝕機(jī)；干法刻蝕機(jī)分為離子銑刻蝕機(jī)、等離子刻蝕機(jī)和反應(yīng)離子刻蝕機(jī)。目前中國(guó)刻蝕機(jī)的國(guó)產(chǎn)化率正在逐步提高。雖然總體核心半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率不足10%，但是刻蝕機(jī)領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化率約為20%?？涛g機(jī)是我國(guó)最具優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，也是國(guó)產(chǎn)替代占比最高的重要半導(dǎo)體設(shè)備之一。不斷發(fā)生的半導(dǎo)體貿(mào)易限制事件，讓刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備的戰(zhàn)略重要性凸顯，未來(lái)刻蝕機(jī)的國(guó)產(chǎn)替代有望加快。