2021年中國三氟化氮（NF3）行業(yè)產(chǎn)量、需求發(fā)展現(xiàn)狀及三氟化氮（NF3）企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局分析[圖]

一、中國氟化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況

氟化工產(chǎn)品是指含氟化學(xué)品的制造與開發(fā)，氟化工產(chǎn)品是一種新型的化工材料，因其產(chǎn)品的高附加值和高性能而被譽(yù)為“黃金”產(chǎn)業(yè)。氟化工產(chǎn)品按其分子結(jié)構(gòu)和性能不同，可劃分為含氟單體、有機(jī)氟化物和無機(jī)氟化物。

氟化工分類

資料來源：智研咨詢整理

據(jù)測(cè)算，2016-2021年中國氟化工行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模逐年上升，2021年市場(chǎng)規(guī)模大約為665億元。綜合來看，氟化工行業(yè)年均復(fù)合增長(zhǎng)率為22.1%，這主要得益于下游空調(diào)制冷系統(tǒng)和新能源汽車行業(yè)對(duì)于氫氟酸和六氟磷酸鋰的需求十分旺盛。

2016-2021年中國氟化工行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模走勢(shì)

資料來源：智研咨詢整理

二、三氟化氮（NF3）概述

三氟化氮（NF3）是無機(jī)氟化物的一種，在常溫下是一種無色、無味、性質(zhì)相對(duì)穩(wěn)定的氣體，是電子工業(yè)中優(yōu)良的等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑，可單獨(dú)或與其它氣體組合用作等離子體工藝的蝕刻氣體，例如 NF3、NF3/Ar、NF3/He 用于硅化合物 MoSi2的蝕刻；NF3/CCl4、NF3/HCl 既用于 MoSi2的蝕刻，也可用于 NbSi2的蝕刻。

三氟化氮理化性質(zhì)分析

三、中國三氟化氮（NF3）行業(yè)生產(chǎn)銷售情況

無機(jī)氟化工行業(yè)被稱為“黃金”產(chǎn)業(yè)，在國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展中起著重要作用，技術(shù)資本密集，產(chǎn)業(yè)相關(guān)性高，對(duì)相關(guān)產(chǎn)業(yè)升級(jí)起著決定性作用。無機(jī)氟化物分為如下大類：含氟電子化學(xué)品、鋁用氟化鹽、特種氟化物氣體（如：三氟化氮）等。

本文內(nèi)容摘自智研咨詢發(fā)布的《2022-2028年中國三氟化氮行業(yè)市場(chǎng)運(yùn)行格局及發(fā)展策略分析報(bào)告》

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2015年我國三氟化氮產(chǎn)量在2887.3噸左右，2021年產(chǎn)量增長(zhǎng)至15317.1噸，2015-2021年實(shí)現(xiàn)年均復(fù)合增速32.06%。

2015-2021年中國三氟化氮行業(yè)產(chǎn)量

資料來源：智研咨詢整理

國內(nèi)三氟化氮產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，2015年我國三氟化氮進(jìn)口901.7噸，出口203.6噸，產(chǎn)品供不應(yīng)求；2019年我國三氟化氮產(chǎn)品出口數(shù)量首次超過進(jìn)口，到2021年出口量達(dá)到1999噸。

2015-2021年我國三氟化氮行業(yè)進(jìn)出口情況

資料來源：中國海關(guān)、智研咨詢整理

根據(jù)數(shù)據(jù)匯總，2021年我國三氟化氮產(chǎn)量15317.1噸，進(jìn)口1022.4噸，出口1999噸，測(cè)算2021年我國三氟化氮行業(yè)需求量達(dá)到14340.5噸。

2015-2021年中國三氟化氮行業(yè)需求量

資料來源：智研咨詢整理

四、中國三氟化氮（NF3）應(yīng)用領(lǐng)域及市場(chǎng)結(jié)構(gòu)

三氟化氮作為微電子工業(yè)中優(yōu)良的等離子體蝕刻氣體，可裂解成活性氟離子，對(duì)硅和鎢化合物具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性。在蝕刻表面上，它可以不留下任何殘留物，是一種非常好的清洗劑，能對(duì)生產(chǎn)設(shè)備腔體的清洗起到很好的作用，在芯片制造、高能激光領(lǐng)域已經(jīng)獲得大量使用。

三氟化氮主要應(yīng)用領(lǐng)域

資料來源：智研咨詢整理

2021年三氟化氮在不同領(lǐng)域的應(yīng)用占比

資料來源：智研咨詢整理

三氟化氮是電子特氣中用量最大的品種，目前對(duì)三氟化氮需求拉動(dòng)最大的是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和面板產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)方面，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2021年中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額為10458.3億元,同比增長(zhǎng)18.2%，且全球集成電路制造正持續(xù)向中國大陸轉(zhuǎn)移。面板產(chǎn)業(yè)方面，中國大陸已成為全球最大的面板生產(chǎn)地。三氟化氮，作為面板和半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中的特種氣體，具有廣闊的市場(chǎng)空間。隨著高世代面板生產(chǎn)線的生產(chǎn)和半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的改進(jìn)，需要更多的光罩層數(shù)和清洗頻率，三氟化氮需求的增長(zhǎng)率將高于面板和晶圓產(chǎn)能的增長(zhǎng)速度。

五、中國三氟化氮（NF3）行業(yè)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局

目前，中船重工718所、南大光電、昊華科技等國內(nèi)廠家已成為全球三氟化氮生產(chǎn)的重要力量，其中718所是國內(nèi)產(chǎn)能最大的三氟化氮企業(yè)。隨著各企業(yè)逐步投產(chǎn)，國內(nèi)三氟化氮即將進(jìn)入產(chǎn)能釋放期，中國企業(yè)也有望進(jìn)一步提升全球市場(chǎng)的參與度。

2021年我國部分企業(yè)三氟化氮產(chǎn)能統(tǒng)計(jì)

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

以昊華科技公司為例，2017年公司三氟化氮產(chǎn)量1078噸，2021年產(chǎn)量增長(zhǎng)至2542噸，2017-2021年公司的產(chǎn)量份額保持在16-22%左右。

2017-2021年昊華科技公司三氟化氮生產(chǎn)銷售情況

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

2017-2021年昊華科技公司三氟化氮產(chǎn)量份額

資料來源：公司公告、智研咨詢整理

近年來，隨著一些高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)重心東移和國家政策的大力支持，我國電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，市場(chǎng)對(duì)三氟化氮的需求迅速增加。同時(shí)，隨著國內(nèi)企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)能力的提高，三氟化氮行業(yè)的相關(guān)企業(yè)有望突破國界，開啟海外市場(chǎng)銷售的新局面。

六、三氟化氮行業(yè)發(fā)展前景

三氟化氮是面板、半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中不可或缺、用量大的特殊電子氣體，市場(chǎng)前景十分看好。2021年11月中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布《中國氣體行業(yè)“十四五”發(fā)展指南》，提出了“十四五”期間氣體行業(yè)發(fā)展的五項(xiàng)重點(diǎn)任務(wù)：一是立足國內(nèi)大循環(huán)，推動(dòng)國內(nèi)國際雙循環(huán)發(fā)展；二是實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略，大幅提升創(chuàng)新能力；三是推進(jìn)數(shù)字化、智能化轉(zhuǎn)型發(fā)展戰(zhàn)略，搭建行業(yè)數(shù)字化、智能化平臺(tái)；四是推進(jìn)人才強(qiáng)企戰(zhàn)略，提升企業(yè)管理水平；五是優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平。今后半導(dǎo)體集成電路方面的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化將得到大力推動(dòng)，未來將形成對(duì)國產(chǎn)化高純含氟氣體材料需求。隨著我國自主可控戰(zhàn)略下對(duì)半導(dǎo)體材料的政策支持，電子特氣進(jìn)口替代迎來發(fā)展機(jī)遇。

2022-2028年中國三氟化氮行業(yè)需求量預(yù)測(cè)

資料來源：智研咨詢整理

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（yhcgw.cn）發(fā)布的《2022-2028年中國三氟化氮行業(yè)市場(chǎng)運(yùn)行格局及發(fā)展策略分析報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。