2023年中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)全景速覽：海外廠商壟斷局面將被打破，行業(yè)將迎來大規(guī)模發(fā)展契機[圖]

內(nèi)容概況：從行業(yè)供需方面來看，雖然近年來我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量有所增長，但仍難以滿足國內(nèi)大量的需求市場，因此，長期以來我國晶圓的靜電卡盤處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。具體來看，2022年我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量為77臺，同比增長83.3%；需求量為464臺，同比增長14%。

關(guān)鍵詞：晶圓的靜電卡盤行業(yè)發(fā)展趨勢 晶圓的靜電卡盤行業(yè)競爭格局 晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場規(guī)模 晶圓的靜電卡盤行業(yè)供需情況

一、概述

靜電卡盤又稱靜電吸盤（簡稱ESC）是以庫倫定律、洛倫茲定律、J-R效應(yīng)、電勢梯度等為原理依據(jù)的新型吸附技術(shù)。根據(jù)被吸附對象材質(zhì)的特性采用一種或者多種吸附方式，從而實現(xiàn)對物體有效地吸附。晶圓的靜電卡盤是一種利用靜電吸附原理將晶圓牢固地吸附在其表面的設(shè)備。它可以在晶圓加工過程中為晶圓提供穩(wěn)定可靠的支撐，同時可以通過背吹氣體來控制晶圓的溫度。靜電卡盤主要由陶瓷基板、靜電電極、機械頂針、外設(shè)電源、背吹系統(tǒng)和冷卻基體等部分組成。

二、行業(yè)政策

晶圓的靜電卡盤的最終應(yīng)用領(lǐng)域主要為集成電路制造，因此，集成電路行業(yè)的發(fā)展對行業(yè)起著至關(guān)重要的左右。近些年來，為了促進集成電路行業(yè)的發(fā)展，我國陸續(xù)發(fā)布了許多政策，如2021年中共中央國務(wù)院發(fā)布的《知識產(chǎn)權(quán)強國建設(shè)綱要（2021－2035年）》健全專門保護與商標(biāo)保護相互協(xié)調(diào)的統(tǒng)一地理標(biāo)志保護制度，完善集成電路布圖設(shè)計法規(guī)。

三、產(chǎn)業(yè)鏈

晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游為原材料供應(yīng)環(huán)節(jié)，主要包括氧化鋁、碳化硅、聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂等；中游為晶圓的靜電卡盤生產(chǎn)供應(yīng)環(huán)節(jié)；下游應(yīng)用主要集中在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。

由于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起步相對較晚，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展更是步履維艱。受設(shè)備驗證周期長、下游廠商缺乏動力、企業(yè)技術(shù)水平相對落后、規(guī)模較小、技術(shù)研發(fā)投入不足等因素制約，行業(yè)規(guī)模一直處于較小的狀態(tài)。半導(dǎo)體設(shè)備大量依賴進口不僅嚴(yán)重影響我國集成電路的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，也對我國電子信息產(chǎn)業(yè)安全造成重大威脅。2018年以來，隨著國家對半導(dǎo)體領(lǐng)域的支持政策進一步強化，晶圓廠對設(shè)備供應(yīng)鏈安全更為關(guān)注，行業(yè)進入高速發(fā)展期，國產(chǎn)化率迅速攀升，自2018年的5.03%上升至了2022年的14.08%，行業(yè)規(guī)模也隨之快速增長。據(jù)資料顯示，2022年我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模為1630.52億元，同比下降8.8%。

四、發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)含量高、研發(fā)投入大的特點，外資廠商布局較早，在各細(xì)分行業(yè)基本處于領(lǐng)導(dǎo)地位。我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起步較晚，技術(shù)積累不足。目前我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在制造、封測端具有良好行業(yè)競爭力，但在設(shè)計、材料、設(shè)備等方面依然與世界先進水平存在差距，在較大程度上仍然依賴進口，國產(chǎn)化率較低，近年來，在下游需求增長的推動下，我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場規(guī)模快速增長，但市場基本被國外品牌產(chǎn)品壟斷，市場主要以進口產(chǎn)品為主。隨著華卓精科生產(chǎn)技術(shù)的突破在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領(lǐng)域的長期壟斷局面，未來，在國家政策的大力支持下，國產(chǎn)晶圓的靜電卡盤進口替代空間巨大。據(jù)資料顯示，2022年我國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場規(guī)模為28037.2萬元，同比增長7.7%，其中進口產(chǎn)品規(guī)模占比為92.2%，較2017年下降6.3個百分點。區(qū)域分布方面，受國內(nèi)集成電路等生產(chǎn)設(shè)備區(qū)域布局的影響，我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)品消費具有明顯區(qū)域性特征。2022年華北地區(qū)占比為49.74%；華東地區(qū)占比35.53%，其他區(qū)域占比為14.73%。

從行業(yè)供需方面來看，雖然近年來我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量有所增長，但仍難以滿足國內(nèi)大量的需求市場，因此，長期以來我國晶圓的靜電卡盤處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。具體來看，2022年我國晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量為77臺，同比增長83.3%；需求量為464臺，同比增長14%。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場競爭狀況及發(fā)展趨向分析報告》

從行業(yè)均價方面來看，受技術(shù)水平的限制，雖然華卓精科已開發(fā)出12寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領(lǐng)域的長期壟斷局面，目前該產(chǎn)品已實現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，但產(chǎn)品相較于國外高端產(chǎn)品仍有不小差距，進口產(chǎn)品價格也遠(yuǎn)高于國產(chǎn)價格。具體來看，2017年，我國國產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價為18.0萬元/臺，進口晶圓的靜電卡盤均價70.0萬元/臺。2022年，我國國產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價增至28.9萬元/臺，進口晶圓的靜電卡盤均價為66.8萬元/臺。

五、競爭格局

我國目前靜電卡盤的研發(fā)制造仍處于起步階段，雖部分產(chǎn)品已與業(yè)界先進水平持平，但在產(chǎn)品種類方面較行業(yè)頭部企業(yè)仍有較大的差距，且在面向更高節(jié)IC制造需求的靜電卡盤開發(fā)制造技術(shù)方面還落后于國際先進水平。國內(nèi)企業(yè)開展靜電卡盤研發(fā)，華卓精科已實現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)。針對潛在的靜電卡盤斷供風(fēng)險，目前已有多家國內(nèi)制造商展開了靜電卡盤的相關(guān)布局，并已取得了許多實質(zhì)性的進展。目前已有包括華卓精科、海拓創(chuàng)新、中瓷電子、富創(chuàng)精密、珂瑪科技等國家國內(nèi)企業(yè)開始了靜電卡盤相關(guān)的研發(fā)生產(chǎn)工作。其中華卓精科已開發(fā)出12寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領(lǐng)域的長期壟斷局面，目前該產(chǎn)品已實現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)。未來隨著國家對關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備零部件研發(fā)的大力支持，美、日企業(yè)對我國靜電卡盤產(chǎn)業(yè)鏈長期壟斷的局面有望得到改變。

六、發(fā)展趨勢

政策利好行業(yè)發(fā)展。作為關(guān)系國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，集成電路及其相關(guān)行業(yè)得到了國家的持續(xù)關(guān)注，政府先后出臺一系列針對集成電路及其相關(guān)行業(yè)的法律法規(guī)和產(chǎn)業(yè)政策，大力推動行業(yè)快速發(fā)展。一方面，國家陸續(xù)出臺了《國務(wù)院關(guān)于印發(fā)進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知》和《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》等法律法規(guī)和行業(yè)政策，鼓勵和推進集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展；另一方面，國家陸續(xù)頒布了《關(guān)于退還集成電路企業(yè)采購設(shè)備增值稅期末留抵稅額的通知》、《關(guān)于集成電路企業(yè)增值稅期末留抵退稅有關(guān)城市維護建設(shè)稅教育附加和地方教育附加政策的通知》和《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策》等產(chǎn)業(yè)政策，為業(yè)內(nèi)企業(yè)創(chuàng)造了有利的稅收、研究支持、人才培養(yǎng)環(huán)境。

發(fā)展前景向好。半導(dǎo)體作為國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，將成為經(jīng)濟增長的新火車頭。而晶圓的靜電卡盤則為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，以重大技術(shù)突破和發(fā)展需求為基礎(chǔ)，對經(jīng)濟社會全局和長遠(yuǎn)發(fā)展具有重大的引領(lǐng)帶動作用。經(jīng)過近幾年國家投入力度的加大和政策措施的扶持，戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)已初步夯實了發(fā)展基礎(chǔ)，將逐漸形成新的核心競爭力。 近年來，下游行業(yè)的發(fā)展繁榮為中國半導(dǎo)體行業(yè)的快速崛起提供了良好的發(fā)展環(huán)境，同時，在新技術(shù)（云計算、人工智能、智能駕駛）逐步興起的背景下，基于對深度大數(shù)據(jù)處理的需求大幅增加，將帶來晶圓的靜電卡盤的快速更新升級，晶圓的靜電卡盤行業(yè)或迎來大規(guī)模發(fā)展契機。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（yhcgw.cn）發(fā)布的《中國晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場競爭狀況及發(fā)展趨向分析報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。