2023年中國刻蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀：政府推動(dòng)技術(shù)發(fā)展，國產(chǎn)刻進(jìn)口替代空間廣闊[圖]

內(nèi)容概況：隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對刻蝕設(shè)備的需求將繼續(xù)增加，預(yù)計(jì)未來幾年中國刻蝕設(shè)備市場規(guī)模還將繼續(xù)保持增長態(tài)勢。具體而言，2022年我國刻蝕設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模342.41億元，其中，介質(zhì)刻蝕設(shè)備173.23億元；硅刻蝕設(shè)備156.03億元；金屬刻蝕設(shè)備13.15億元。

關(guān)鍵詞：刻蝕設(shè)備市場規(guī)模 刻蝕設(shè)備主要企業(yè) 刻蝕設(shè)備成本 刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈

一、刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展概述

刻蝕是指通過溶液、離子等方式剝離移除如硅、金屬材料、介質(zhì)材料等晶圓表面材料，從而達(dá)到集成電路芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求的一種工藝流程。刻蝕工藝分為干法刻蝕和濕法刻蝕，目前應(yīng)用主要以干法刻蝕為主，市場占比90%以上。濕法刻蝕在小尺寸及復(fù)雜結(jié)構(gòu)應(yīng)用中具有局限性，目前主要用于干法刻蝕后殘留物的清洗。濕法刻蝕可分為化學(xué)刻蝕和電解刻蝕。根據(jù)作用原理，干法刻蝕可分為物理刻蝕(離子銑刻蝕)和化學(xué)刻蝕(等離子刻蝕)。根據(jù)被刻蝕的材料類型，干法刻蝕則可分為金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕與硅刻蝕。ICP 與CCP 是應(yīng)用最為廣泛的刻蝕設(shè)備。

二、刻蝕設(shè)備行業(yè)政策背景

隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對刻蝕設(shè)備的需求越來越大。近些年來，為積極推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的突破，我國陸續(xù)發(fā)布了許多國家和地方政策，如2023年1月內(nèi)蒙古自治區(qū)人民政府《關(guān)于加快推進(jìn)數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展若干政策的通知》支持電子信息制造業(yè)發(fā)展，服務(wù)器及數(shù)據(jù)中心相關(guān)設(shè)備、半導(dǎo)體、通信設(shè)備、智能終端、消費(fèi)電子產(chǎn)品、傳感器、光電、顯示、電子專用裝備及關(guān)鍵電子材料、零部件、元器件等列入自治區(qū)數(shù)字經(jīng)濟(jì)重點(diǎn)項(xiàng)目名單。在政策支持和市場需求推動(dòng)下，國內(nèi)刻蝕設(shè)備企業(yè)將加速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，提高國產(chǎn)設(shè)備的市場占有率和技術(shù)水平?？涛g設(shè)備行業(yè)技術(shù)研發(fā)趨勢將圍繞提高加工速度和精度、適應(yīng)新材料加工、綠色環(huán)保、智能制造和國產(chǎn)替代等方面展開。未來，隨著市場需求和技術(shù)進(jìn)步的不斷推動(dòng)，該行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新還將繼續(xù)加速發(fā)展。

三、刻蝕設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

刻蝕設(shè)備在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。在半導(dǎo)體制程中，刻蝕設(shè)備主要用于將光刻技術(shù)產(chǎn)生的電路圖從半導(dǎo)體材料上轉(zhuǎn)移到目標(biāo)芯片上。具體來說，刻蝕設(shè)備通過物理或化學(xué)方法將電路圖從光刻膠上轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體材料上，然后去除光刻膠，最終得到所需的電路圖形?？涛g設(shè)備上游成本包括直接材料、直接人工和制造費(fèi)用。其中直接材料成本就是機(jī)械類、電氣類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、儀器儀表類、氣動(dòng)系統(tǒng)類等部件成本，占比最大，占整體成本的88%，中游主要是刻蝕設(shè)備的生產(chǎn)和制備，下游主要是應(yīng)用半導(dǎo)體領(lǐng)域，終端應(yīng)用于消費(fèi)電子、工業(yè)自動(dòng)化、智能家居、物聯(lián)網(wǎng)、能源電力等

在刻蝕設(shè)備原材料方面，主要包括機(jī)械類、電氣類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、儀器儀表類、氣動(dòng)系統(tǒng)類等部件。這些原材料的質(zhì)量和性能對刻蝕設(shè)備的性能和穩(wěn)定性有著重要影響。中國在原材料供應(yīng)方面具備一定的優(yōu)勢，部分企業(yè)已經(jīng)具備了較高水平的制造能力，能夠提供高質(zhì)量的刻蝕設(shè)備原材料。其中直接材料成本就是機(jī)械類、電氣類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、儀器儀表類、氣動(dòng)系統(tǒng)類等部件成本，占比最大，占整體成本的88%。

四、刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

隨著集成電路行業(yè)的不斷發(fā)展，集成電路制造產(chǎn)業(yè)對于刻蝕工藝的復(fù)雜度要求不斷上升，刻蝕技術(shù)也在不斷地演進(jìn)：主要運(yùn)用設(shè)備已從只能進(jìn)行有限控制的圓筒式刻蝕機(jī)，發(fā)展至集成刻蝕參數(shù)控制軟件的現(xiàn)代等離子體刻蝕機(jī)。數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕設(shè)備市場規(guī)模142.38億美元，2022年增至215.28億美元。細(xì)分區(qū)域結(jié)構(gòu)來看，2022年韓國刻蝕設(shè)備市場規(guī)模45.17億美元，占全球比重達(dá)20.98%；中國刻蝕設(shè)備市場規(guī)模50.91億美元，占比23.65%；中國臺灣刻蝕設(shè)備市場規(guī)模56.32億美元，占比26.16%。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國刻蝕設(shè)備行業(yè)市場供需態(tài)勢及發(fā)展前景研判報(bào)告》

中國刻蝕設(shè)備行業(yè)的市場規(guī)模在不斷擴(kuò)大。根據(jù)數(shù)據(jù)，中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模在2022年已經(jīng)達(dá)到了1630.52億元，其中刻蝕設(shè)備占據(jù)了相當(dāng)大的比例。隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對刻蝕設(shè)備的需求將繼續(xù)增加，預(yù)計(jì)未來幾年中國刻蝕設(shè)備市場規(guī)模還將繼續(xù)保持增長態(tài)勢。具體而言，2022年我國刻蝕設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模342.41億元，其中，介質(zhì)刻蝕設(shè)備173.23億元；硅刻蝕設(shè)備156.03億元；金屬刻蝕設(shè)備13.15億元。

五、刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)企業(yè)競爭

半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備市場主要由美日廠商主導(dǎo)。半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域長期由海外龍頭壟斷，根據(jù)中商情報(bào)網(wǎng)統(tǒng)計(jì)，全球刻蝕企業(yè)前三大分別是泛林半導(dǎo)體（Lam Research）、東京電子（TEL）、應(yīng)用材料（AMAT），全球市占率合計(jì)近9成其中泛林半導(dǎo)體以超4成以上的市場份額遙遙領(lǐng)先，東京電子和應(yīng)用材料則分別占據(jù)3成和2成的市場份額。中國大陸刻蝕設(shè)備供應(yīng)商份額有限，中微公司和北方華創(chuàng)分別占據(jù)約1%的市場份額，國產(chǎn)刻蝕設(shè)備具有廣闊的進(jìn)口替代空間。

六、刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢

我國刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化發(fā)展趨勢強(qiáng)勁。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，國內(nèi)廠商在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域取得了顯著突破，技術(shù)水平不斷提升，正逐步實(shí)現(xiàn)從進(jìn)口依賴到自主可控的轉(zhuǎn)變。未來，隨著技術(shù)創(chuàng)新的推動(dòng)和產(chǎn)業(yè)政策的支持，國產(chǎn)刻蝕設(shè)備將在市場中占據(jù)更大份額，加速推動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控進(jìn)程。

我國刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化需求增長趨勢顯著。隨著半導(dǎo)體工藝技術(shù)的不斷進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)大，國內(nèi)市場對刻蝕設(shè)備的需求呈現(xiàn)出快速增長的態(tài)勢。同時(shí)，為了降低生產(chǎn)成本、提高產(chǎn)能和保障供應(yīng)鏈安全，越來越多的國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)開始傾向于采購國產(chǎn)刻蝕設(shè)備，為國內(nèi)刻蝕設(shè)備廠商提供了廣闊的市場機(jī)遇和發(fā)展空間。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（yhcgw.cn）發(fā)布的《中國刻蝕設(shè)備行業(yè)市場供需態(tài)勢及發(fā)展前景研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。