一、市場規(guī)模
集成電路是二十世紀人類科技史上最偉大的發(fā)明之一。以集成電路為代表產(chǎn)品的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為當今信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心,在推動經(jīng)濟發(fā)展、社會進步,提高人民生活水平以及保障國家安全等方面正發(fā)揮著日益重要的作用,已成為當前國際科技和產(chǎn)業(yè)競爭的焦點,也是衡量一個國家和地區(qū)現(xiàn)代化程度和綜合國力的重要標志。從人們?nèi)粘I钪惺褂玫母鞣N家用電器到醫(yī)療衛(wèi)生、工業(yè)農(nóng)業(yè)、航天航海等各領(lǐng)域,都顯示了半導(dǎo)體器件的巨大作用,2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達711億美元,較2019年增加了113億美元,同比增長18.9%,未來將繼續(xù)保持增長,預(yù)計2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將達到1013億美元。
2014-2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模統(tǒng)計及預(yù)測
資料來源:Semi、智研咨詢整理
智研咨詢發(fā)布的《2021-2027年中國半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)市場全景分析及發(fā)展趨勢研究報告》數(shù)據(jù)顯示:從中國市場來看,2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達187.2億美元,較2019年增加了52.70億美元,同比增長39.2%。
2014-2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模統(tǒng)計及預(yù)測
資料來源:Semi、智研咨詢整理
近年來中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的比例逐年攀升,2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的26.33%,較2014年的11.73%增長了14.60%,半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代明顯。
2014-2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的比例
資料來源:Semi、智研咨詢整理
2020年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達187.2億美元,2021年約同比增長10%,測算2021年國內(nèi)半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備市場分別達到24.7億美元,約為160.6億元人民幣,前道測試設(shè)備市場空間超百億美元,未來采購需求有望大幅上修。
2021年中國半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備市場規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的比例
資料來源:Semi、智研咨詢整理
二、市場格局
前道量測設(shè)備進一步細分為量測設(shè)備、缺陷檢測設(shè)備以及過程控制軟件,其中缺陷檢測設(shè)備占前道檢測設(shè)備的55%,占比最大;量測設(shè)備占前道檢測設(shè)備的34%;過程控制軟件占前道檢測設(shè)備的11%。
前道量測設(shè)備中各類設(shè)備占比
資料來源:Semi、智研咨詢整理
進一步按產(chǎn)品細分,膜厚測量設(shè)備占比約12%;CD-SEM占比約12%;套刻誤差測量占比約9%;宏觀缺陷檢測占比約6%;有圖形晶圓檢測占比約34%;無圖形晶圓檢測占比約5%;電子束檢測占比約12%。
前道測試設(shè)備中各類設(shè)備占比
資料來源:Semi、智研咨詢整理
前道檢測設(shè)備領(lǐng)域,KLA占52%的份額;AMAT占12%的份額;Hitachi占11%的份額;Nano占4%的份額;HemesMicrovison占3%的份額;Nava占2%的份額;場集中度較高,且基本被海外公司所壟斷。
全球前道量測/檢測設(shè)備市場競爭格局
資料來源:Gartner、智研咨詢整理
KLA在檢測設(shè)備領(lǐng)域市占率有絕對優(yōu)勢,在晶圓形貌檢測、無圖形晶圓檢測、有圖形晶圓檢測領(lǐng)域市占率分別達到85%、78%、72%,具有絕對壟斷優(yōu)勢。
KLA在各個環(huán)節(jié)的市占率
資料來源:Gartner、智研咨詢整理
三、國內(nèi)重點廠商介紹
國內(nèi)量檢測領(lǐng)域目前主要參與公司有上海精測、上海睿勵、中科飛測、東方晶圓等,目前正在積極推出其產(chǎn)品線,推動國產(chǎn)量測設(shè)備發(fā)展。精測與睿勵主要聚焦于膜厚及OCD量測,已獲國內(nèi)一線存儲廠商重復(fù)訂單,中科飛測產(chǎn)品以形貌測試為主,已進入國內(nèi)多家生產(chǎn)線,如中芯國際、長江存儲、士蘭微等,東方晶源主要攻克EBI和CD-SEM,目前產(chǎn)品也已實現(xiàn)交付,填補了我國空缺的關(guān)鍵領(lǐng)域。
國內(nèi)半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域主要參與企業(yè)業(yè)務(wù)布局
企業(yè) | 簡介 |
上海精測 | 公司現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測設(shè)備、電子束量測設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。公司產(chǎn)品線包括EFIM系列膜厚測量機、EPROFILE系列膜厚及OCD測量機、eView系列電子束檢測設(shè)備,量測領(lǐng)域覆蓋了適用范圍最廣的膜厚及OCD測量設(shè)備,檢測領(lǐng)域覆蓋了電子束檢測及缺陷復(fù)查設(shè)備,產(chǎn)品覆蓋領(lǐng)域較為齊全。其中,上海精測膜厚產(chǎn)品(含獨立式膜厚設(shè)備)已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單,上半年公司實現(xiàn)首臺12寸晶圓外觀缺陷檢測設(shè)備交付,首臺獨立式OCD設(shè)備與ReviewSEM出機。 |
上海睿勵 | 公司產(chǎn)品深耕量測領(lǐng)域,主要產(chǎn)品包括TFX3000系列膜厚量測設(shè)備,TFX3000OCD光學關(guān)鍵尺寸(OCD)和形貌測量系統(tǒng),F(xiàn)SD300自動宏觀缺陷檢測系統(tǒng)及WSD200光學缺陷檢測設(shè)備.今年上半年,公司新一代光學膜厚量測設(shè)備(TFX4000i)正式交付國內(nèi)重要客戶,高精度光學缺陷檢測設(shè)備(WSD200)也交付國內(nèi)知名客戶,目前睿勵自主研發(fā)的12英寸光學測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品,已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進行了14納米工藝驗證,在3D存儲芯片產(chǎn)線支持64層3DNAND芯片的生產(chǎn),并正在驗證96層3DNAND芯片的測量性能,現(xiàn)正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設(shè)備以及缺陷檢測設(shè)備,公司股東包括中微公司(20.45%)、浦東科創(chuàng)(15.04%)、張江科投(11.13%)、國家大基金(8.78%)、上海創(chuàng)投(4.95%)、上海國盛(3.35%)等一眾知名產(chǎn)業(yè)投資機構(gòu)。 |
中科飛測 | 公司產(chǎn)品涉及量檢測領(lǐng)域,具體分別為SKYVERSE-900三維封裝量測系統(tǒng)、SPRUCE-600晶圓表面缺陷檢測系列和智能視覺檢測系統(tǒng),其中公司的晶圓表面顆粒檢測機成功進入中芯國際生產(chǎn)線,智能視覺檢測系統(tǒng)成功進入長江存儲生產(chǎn)線,橢偏膜厚量測儀進入士蘭微生產(chǎn)線。 |
東方晶圓 | 公司產(chǎn)品涉及量檢測領(lǐng)域,具體分別為SKYVERSE-900三維封裝量測系統(tǒng)、SPRUCE-600晶圓表面缺陷檢測系列和智能視覺檢測系統(tǒng),其中公司的晶圓表面顆粒檢測機成功進入中芯國際生產(chǎn)線,智能視覺檢測系統(tǒng)成功進入長江存儲生產(chǎn)線,橢偏膜厚量測儀進入士蘭微生產(chǎn)線。 |
資料來源:智研咨詢整理
2025-2031年中國半導(dǎo)體檢測儀器行業(yè)投資潛力研究及發(fā)展趨勢預(yù)測報告
《2025-2031年中國半導(dǎo)體檢測儀器行業(yè)投資潛力研究及發(fā)展趨勢預(yù)測報告》共十四章,包含2025-2031年半導(dǎo)體檢測儀器行業(yè)前景及趨勢預(yù)測,2025-2031年半導(dǎo)體檢測儀器行業(yè)投資機會與風險防范,半導(dǎo)體檢測儀器行業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略研究等內(nèi)容。
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